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一起來了解下鍍膜儀的特性

更新時間:2020-01-15      點擊次數(shù):999
  什么是鍍膜?在陽極與陰極之間使用合適的氣體(常用的是氬氣)和電壓,當出現(xiàn)輝光放電時,陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標材料,其結(jié)果是濺射出來的原子(陰極材料)將在樣本(通常樣本固定于陽極上)表面形成一層薄膜,均勻分布在樣本的表面,這個過程就叫鍍膜。
  鍍膜儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),采用隔膜泵和渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度可達2×10-6mbar。鍍膜細膩均勻。內(nèi)置石英膜厚檢測器,可精確控制鍍膜厚度。全自動電腦控制,自動完成抽真空,鍍膜,放氣等全過程,一鍵操作,采用觸摸屏控制,簡單方便,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜。
  鍍膜儀的主要特性:
  1、自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚和較好的導電噴鍍效果。
  2、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
  3、操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
  4、在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程,可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,
  5、通過使用高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設(shè)定膜厚時停止噴鍍過程。
  6、可用高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。
  7、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和較好的鍍膜效果。
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